南宫28ng《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》获中国检验检测学会科学技术奖

发布时间：2024-03-19 09:38

近期，“2023年度中国检验检测学会科学技术奖”获奖名单公布，北京南宫28ng仪器股份有限公司（简称“南宫28ng”）凭借其《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》荣获科学技术进步奖二等奖。

该奖项由中国检验检测学会设立，旨在表彰那些在检验检测科学技术领域或相关领域，通过技术发明、科技进步、国际科技合作等活动，对推动检验检测科学发展做出显著贡献的组织和个人。

南宫28ng于2021年5月和2023年3月分别推出了自主研发的LabMS 3000电感耦合等离子体质谱仪和LabMS 5000电感耦合等离子体串联质谱仪，其技术成熟度与产品可靠性已经满足国内集成电路制造企业对28nm以上制程硅片表面金属离子检测的需求，并已成功应用于半导体晶圆制造企业，在半导体行业有了巨大突破。

南宫28ng此次获奖的《硅片表面金属离子国产检测仪器首创项目》成功解决了国产仪器在此领域的技术空白，有望打破国外技术的长期垄断。该项目依托先进的ICP离子源技术、加强的离子传输系统和基于CAN总线的电控系统，实现了仪器的高效稳定运行及精准检测，满足了半导体硅片行业对极低检出限的严苛要求。